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CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

  • CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)圖片1
  • CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)圖片2
  • CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)圖片3
  • CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)圖片4
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CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

發(fā)貨期限:自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨

所在地:北京

有效期至:長(zhǎng)期有效

最后更新:2023-01-09 11:18

瀏覽次數(shù):545

單價(jià):面議
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公司基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

CS100質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

CS100產(chǎn)品是基于七星流量計(jì)CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺(tái)開(kāi)發(fā),在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用客戶定制化設(shè)計(jì),客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時(shí)其獨(dú)創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問(wèn)題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。

優(yōu)勢(shì)

• CS100產(chǎn)品采用客戶定制化設(shè)計(jì),

• 客戶可根據(jù)需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;

• 金屬密封或橡膠密封;

• 產(chǎn)品尺寸可選用符合國(guó)際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品,也可選用緊縮型產(chǎn)品。

技術(shù)參數(shù)

CS100

類型

CS100A

CS100D

閥類型

常閉

無(wú)

常閉

無(wú)

流量規(guī)格(N2)

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa; 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa ; 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.25~0.45MPa ; 30<流量規(guī)格≤50SLM

<0.02 MPa

 

0.05~0.35MPa; 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa;10<流量規(guī)格≤30SLM

<0.02 MPa

溫度系數(shù)

零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃;   調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃

耐壓

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He)

密封材料

氟橡膠

金屬密封

最大工作壓力

0.45MPa

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

輸入信號(hào)

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

無(wú)

無(wú)

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

無(wú)

無(wú)

輸出信號(hào)

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:          (0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

模擬:
(0~5)VDC

數(shù)字: RS485

電源接頭形式

D型9針
陽(yáng)接頭;

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針
陽(yáng)接頭;

O型3針
陽(yáng)接頭

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針
陽(yáng)接頭;

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針陽(yáng)接頭;

O型3針陽(yáng)接頭

D型15針陽(yáng)接頭

D型9針
陽(yáng)接頭;

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針
陽(yáng)接頭;

O型3針
陽(yáng)接頭

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針
陽(yáng)接頭;

D型15針
陽(yáng)接頭

D型9針陽(yáng)接頭;

O型3針陽(yáng)接頭

D型15針陽(yáng)接頭

供電電源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自動(dòng)清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套 φ6; 雙卡套φ3;雙卡套1/4´´;雙卡套1/8´´;

VCR1/4´´陽(yáng)接頭;

φ6(內(nèi))x1軟管接頭;φ5(內(nèi))x1.5軟管接頭;φ4(內(nèi))x1軟管接頭

VCR1/4″陽(yáng)接頭

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

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